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更新时间：2022-01-27
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拥有一台 你在材料测试方面微型真空探针台
多功能 可扩展 显微镜热台 微型探针台
气敏湿敏探针台 拉曼光学测试台 热电探针台
光电探针台 非磁性霍尔效应探针台
测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面最高可升温到最高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。
使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。
| 温控器 | |
| 加热温度 | 高温型 35-400℃ 低温型 室温- -50℃ 注意：热台温度和样品温度存在偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。 |
| 温控误差 | ±1℃ |
| 热电偶类型 | PT100高精度传感器 |
| 温控表 | 宇电PID温控器 |
| 程序控温 | 1段（可选30段程序控温表） |
| 加热功率 | ≤300W |
| 加热电源 | AC220v |
| 尺寸 | 230x230x125MM |
| 重量 | 6kg |
| 真空探针热台 | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 加工方式 | 一体式CNC精加工 |
| 内腔体尺寸 | 137X57X21mm 容积165ML |
| 加热台尺寸 | Φ35mm |
| 观察窗内径 | Φ45mm |
| 观察窗材质 | 高透光石英玻璃 |
| 信号输出头 | SMA母头 配线 SMA转BNC 1.5米 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
| 抽气口 | KF16 |
| 进气口 | 6MM卡套 |
| 使用正压 | ≤O.05MPa |
| 使用负压 | 机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa |
| 可扩展配件 | 气体液体注射口 4芯电信号接头 8芯电信号接头 SMA905 光纤接口 扩展5KV高压电极 升级30段控温仪表 |
| 移动探针 | |
| 探针规格 | 探针粗Φ0.5mm 探针尖 10μm |
| 上下移动距离 | 2.5mm |
| 前后移动距离 | ±10mm |
| 左右旋转距离 | 120° |
当前位置：
