真空探针台是一个低成本不需要低温制冷剂的探针台，它可以对器件进行非破坏性的测试，器件的尺寸可达到51mm，可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。
真空探针台主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
下面为您介绍真空探针台所具备的特点：
1、2.25T垂直超导磁场。
2、高温选件温度范围：20K到500K。
3、采用闭循环制冷机制冷，不需消耗任何液氮或液氦，基本系统温度范围：10K到350K。
4、探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉，温度可以低至25K。
5、控温稳定性：±50mK。
6、探针臂传上安装温度感器进行温度监测。
7、低振动设计：在样品台<1μm ( X, Y, Z轴)。
8、各种样品架适于低噪音，高频，高阻测量。
9、测量DC到67GHz。
10、测试样品尺寸51mm（2in）直径，可使用6个探针臂。
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更新时间：2020-07-20
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