微型高低温真空探针台高低温真空探针台冷热台 加装真空位移拉伸夹具 实现对柔性传感材料在不同温度 湿度 气体浓度 压力和位移条件下的电学信号测试 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移过程可采集样品信号 热台温度范围 高温60℃低温-60℃ 机械泵极限真空小于1Pa

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真空手动探针台变温射频探针热台该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用高级真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。

气敏微型真空探针台真空冷台郑科探 厂家直销腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用高级真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。

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