上海实验室真空PECVD射频模块薄膜均匀沉积通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单，与传统CVD系统比较，生长温度更低，管辉光均匀等效，薄膜均匀沉积。

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不锈钢定制真空腔体 实验室非标定制真空测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为50x50mm，台面可升温到350℃。

实验室非标真空腔体、分子泵高真空机组系统是热传导加热模式 腔体内的加热平台上的温度由于不同真空和气氛环境导致测温误差也不同 常压下为-10℃左右的负偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面上测准确值做校准。

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