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产品简介
混合气体配比气体混配器流量流量配比可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境.
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 电子 |
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混合气体配比气体混配器流量流量配比主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.
该 混合气体配比气体混配器流量流量配比可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
产品型号 | KT-C3Z |
产品类型 | 智能控制 触摸屏控制 |
流量量程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
流量控制方式 | 触摸屏设定流量 |
时间设定 | 0-99999 |
数据导出 | 有 |
程序控制 | 无 （可根据要求写程序) |
压力显示 | 无 (可根据需求添加) |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 金属密封 Metal |
输入输出信号 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA, |
电源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
阀类型 | 常开或常闭 |
温度系数 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零点飘移指标 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
电气连接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作压差范围 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He） |
标准接头形式 | 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面化学成分 | CrO thickness ＞20 Angstroms |
表面粗糙度 | 20µinch |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 16KG |
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