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产品简介
低温真空探针台郑科探主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
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低温真空探针台郑科探主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
低温真空探针台郑科探的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
参数；
真空腔体 | ||
加热型 | 冷热型 | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
上盖开启 | 铰链侧开 | |
加热台材质 | 304不锈钢 | |
内腔体尺寸 | φ160x90mm | |
观察窗尺寸 | Φ70mm | |
加热台尺寸 | φ60mm | |
观察窗热台间距 | 75mm | |
加热台温度 | 35-350℃ | -196-350℃ |
加热台温控误差 | ±1℃ | |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa | |
允许正压 | ≤0.1MPa | |
真空抽气口 | KF25真空法兰 | |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 | |
电信号接头 | SMA转BNC X 4 | |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V 漏电流 ≤-10次方安培 | |
探针数量 | 4探针 | |
探针材质 | 镀金钨针 | |
探针尖 | 10μm | |
探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 30mm ±15mm | |
X轴控制精度 | ≤0.01mm | |
Y轴移动行程 | 13mm ±12.5mm | |
Y轴控制精度 | ≤0.01mm | |
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