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微型低温探针冷台，可定低温制探针台系统，整套系统包括探针台真空腔主体、铁制抗震支架、进口分子泵机组、视频显微镜、探针、智能温控仪等配置
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微型低温探针冷台,可定低温制探针台系统，整套系统包括探针台真空腔主体、铁制抗震支架、进口分子泵机组、视频显微镜、探针、智能温控仪等配置
一部分：系统及指标描述
1、总体规格
尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）
自重：约80Kg
2、结构与特点
（1）真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）
（2）探针控制：标配4个探针臂。调节范围x轴12mm ±6mm，y轴12mm ±6mm，z轴12mm ±6mm，调节精度≤5μm。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆
（3）显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；
（4）变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.01K
（5）可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤
（6）系统直流漏电低于10pA
3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪
4、设备照片（因配置不同，照片仅供参考）
微型低温探针冷台
技术参数；
真空腔体 | |
类型 | 加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 |
腔体内尺寸 | φ90x40mm |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） |
腔体抽气口 | KF16 |
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体出气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体正压 | ≤0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
样品台 | |
样品台材质 | 304不锈钢 |
样品台尺寸 | 26X26mm |
样品台-视窗 距离 | 30mm（可选凹视窗间距15mm） |
样品台测温传感器 | A 级PT100铂电阻 |
样品台温度 | 室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃） |
样品台测温误差 | ±0.2℃ |
样品台变温速率 | 高温10℃/min 低温5℃/min 最大值 |
温控仪 | |
温度显示 | 7寸人机界面 |
温控类型 | 标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） |
温度分辨率 | 0.1℃ |
温控精度 | ±0.5℃ |
温度信号输入类型 | PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） |
温控输出 | 直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 |
探针 | |
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
探针数量 | 4探针（可定做6探针） |
探针材质 | 镀金钨针 |
探针尖 | 10μm |
探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 12mm ±6mm |
X轴控制精度 | ≤5μm |
Y轴移动行程 | 12mm ±6mm |
Y轴控制精度 | ≤5μm |
Z轴移动行程 | 12mm ±6mm |
Z轴控制精度 | ≤5μm |
数码显微镜 | |
显微镜类别 | 物镜放大+电子放大 |
显微镜放大倍数 | 100倍 |
显微镜工作间距 | 50-150mm |
相机分辨率 | 1080P 60帧 |
相机信号输出 | HDMI输出+USB输出 |
LED可调光源 | LED光源 |
显示屏 | 5寸 屏幕一体机 |
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