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产品简介
高温真空探针台KT-Z1604TZ，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃。以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。
| 品牌 | 郑科探 |
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高温真空探针台KT-Z1604TZ
真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
高低温真空探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
高温真空探针台KT-Z1604TZ参数
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真空腔体 | |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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上盖开启 |
铰链侧开 |
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加热台材质 |
304不锈钢 |
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内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
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观察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加热台尺寸 |
φ60mm |
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观察窗热台间距 |
75mm |
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加热台温度 |
﹣196~350℃ |
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加热台温控误差 |
±1℃ |
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真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允许正压 |
≤0.1MPa |
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真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
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气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
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电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
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探针数量 |
4探针 |
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探针材质 |
钨针 |
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探针尖 |
10μm |
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探针移动平台 | |
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X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
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X轴控制精度 |
≤0.01mm |
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Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
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Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
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电子显微镜 | |
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显微镜类别 |
物镜 |
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物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
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工作间距 |
90mm |
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相机 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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图像接口 |
VGA |
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LED可调光源 |
有 |
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显示屏 |
8寸 |
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放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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