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高温真空蒸镀仪

产品简介

高温真空蒸镀仪,触摸屏控制功率时间,工艺时间记忆储存功能,石英腔体,自动电动挡板保护样品,旋转样品台,蒸发高度调节。

产品型号:KT-Z1650CVD
更新时间:2024-03-27
厂商性质:生产厂家
访问量:1756
详细介绍在线留言
品牌郑科探产地类别国产
应用领域综合

高温真空蒸镀仪,是一款小型真空镀膜仪,特别适合蒸镀一些轻金属,如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理,Z大可处理的样品直径为50mm.。标准的旋转样品台可进行倾斜调节,非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽,可放置标准的载玻片,这在“石棉分析"需要镀碳层时尤为有利。
碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头",使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置,避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上,并且可安全地“关闭"直接通大气。
优点
● 容易操作
● 均匀的样品涂层
● 方便多用户操作
● 可用于蒸碳及蒸镀金属
● 在排气过程中可防止样品损坏
● 碳棒或碳丝蒸发


以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

637858771737832260197.png   原样品没有镀膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 机械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分钟


真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色


高温真空蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa



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