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一氧化碳流量计气体配比器,一氧化碳(carbon monoxide, CO)纯品为无色、无臭、无刺激性的气体。相对分子质量为28.01,密度1.25g/l,冰点为-205.1℃,沸点-191.5℃。在水中的溶解度甚低,极难溶于水。与空气混合爆炸极限为12.5%~74.2%。一氧化碳进入人体之后极易与血液中的血红蛋白结合,产生碳氧血红蛋白,进而使血红蛋白不能与氧气结合,使人缺氧,严重时死亡。
DS300质量流量控制器气体配比器 DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器,用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小,精度高,响应速度快,压力不敏感的特点,产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。
CS200质量流量计气体配比器,CS200采用*传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。
D07-19B质量流量计气体配比器 D07-19是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-19产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。