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微型真空探针台-探针座等实验室方案精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面为φ30,台面最高可升温到最高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针,特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。
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微型高低温真空探针台高低温真空探针台冷热台 加装真空位移拉伸夹具 实现对柔性传感材料在不同温度 湿度 气体浓度 压力和位移条件下的电学信号测试 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移过程可采集样品信号 热台温度范围 高温60℃低温-60℃ 机械泵极限真空小于1Pa
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