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真空环境测试真空加热腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电化学信号测试。测试腔体可扩展模块较多,该腔体设计有进气口和抽真空接口和4-8芯信号真空电极及真空计接口,腔体上部安装有φ80石英观察片方便观察样品和光学用途。
不锈钢加热真空腔体主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面为50x50mm,台面可升温到350℃。
方型真空加热腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面为φ100mm,台面可升温到350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极,多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上,由内部探针行将样品电极引入腔体的信号线连接到外部测试仪器,外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。
气敏材料测试真空加热腔体主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本