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Product Center桌面式磁控溅射仪KT-Z1650PVD,外形小巧方便移动,触摸屏控制工艺记忆储存,自动电动挡板阀保护样品,石英腔室更加洁净方便清洁。
桌面式小型溅射仪KT-Z1650PVD磁控溅射是一种常用的物理气相沉积(PVD)的方法,具有沉积温度低、沉积速度快、所沉积的薄膜均匀性好,成分接近靶材成分等众多优点。
桌面式溅射仪KT-Z1650PVD是一款高度集成化智能化的台式磁控溅射系统。体积小巧,但是功能出色、配置齐全。配有水冷靶,自动样品挡板,可调节溅射源距离,触摸屏控制,工艺储存等功能,方便快捷。
小型离子溅射仪镀膜仪一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
不同的蒸发速率下沉积300nm的Au薄膜,研究蒸发速率对薄膜表面形貌和性能的影响。随着蒸发速率的提高,薄膜的结构变得致密,晶粒尺寸和表面粗糙度减小。高纯度金靶材磁控溅射仪KT-Z1650PVD在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学。