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Product Center高温真空探针台KT-Z1604TZ,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到400℃。以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。
真空手动探针台变温射频探针热台该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达<5Pa分子泵可达<-3Pa。真空信号连接处使用高级真空电极信号接头,保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面,探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处,外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。