第1步，石英管缩颈抽真空后开始烧结缩颈，缩颈部位烧至凹陷即可Step1:SilicatubeneckingFrittheneckingafterthevacuumizinguntiltheneckingpartgetssunken第2步，装样装石英柱将样品装入石英管，将石英柱下滑至缩颈处卡住Step2:SilicacolumnsampleloadingPutthesampleintosilicatubesａndslidethesilicacolumntotheneckingf...

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态3种状态存在，但在一些特殊的情况下可以以第四种状态存在，如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。由于等离子体中的电子、离子和自由基等活性粒子的存在，其本身很容易与固体表面发生反应。等离子体清洗主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。与湿法清洗相比，等离子清洗机的优势表面在以下几个方面：1、在经过等离子清洗之后，被清洗物体已经很干燥，...

1.自我诊断技术自我诊断技术是在不停机或基本不拆机的情况下，通过各种检测分析来判断设备状态是否正常，异常或故障的原因、部位、程度以及寿命的预测。自我诊断技术的主要作用是获得设备的结果状态信息，即根据设备在各种工况下，表现出来的精度超差，零点漂移，内漏等所有状态信息的综合分析来识别产品的状态、异常类型和异常的严重程度，其本质是一个包含信号采集、信息提取、信息综合、故障识别和信息利用的过程。自我诊断的目标是确保产品在功能、精度、效率和可靠性方面均能稳定运行2.自我诊断技术在气体质...

快速退火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展,开展快速退火炉系统的技术研究,对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉装备,有着十分重要的理论意义和工程应用价值。本文针对现代半导体器件退火工艺对快速退火炉系统的技术要求,在综合分析国内外各种快速退火炉系统技术基础上,通过深入的分析研究,设计了系统总体技术方案。拟定采用灯光辐射型热源装置,上下两排成正...

热电偶元件是在工业、科研中广泛使用的一种温度传感器,具有测温范围广,坚固耐用,无自发热现象,使用方便等优点。薄膜热电偶除了继承上述普通热电偶的优点外,还具有热容小,响应速度快,几乎不占用空间,对被测物体影响小的优点。本研究为制备K型薄膜热电偶选择了电子束蒸发镀,磁控溅射,多弧离子镀三种PVD方法。其中一部分样片的NiCr/NiSi薄膜均由磁控溅射均由磁控溅射沉积,另一部分样片的NiCr薄膜由磁控溅射沉积,而NiSi薄膜由电子束蒸发沉积。所制备得到的薄膜热电偶样片使用SEM(E...

扫描探针显微镜是目前一种用途广泛的表面分析仪器,它不仅广泛应用于物理、化学、生物、医学等基础研究领域,还在微纳制造和微电子等的应用研究领域中发挥着越来越重要的作用。然而,目前商业化的扫描探针显微镜主要为单一探针的工作模式,其功能相对单一,难以实现一些较为复杂的实验及检测功能。例如,在特殊环境下(如真空或辐射环境)的微观磨损实验中,若采用单一探针模式,在完成磨损实验后,需要更换曲率半径更小的针尖才能对表面磨损区域进行原位的高分辨形貌扫描与观测。然而,在更换针尖的过程中,微观磨损...

针对光学和介电功能薄膜制备中的离化率低和靶面污染问题,设计了一种磁控溅射沉积系统,系统包括磁控溅射靶装置、等离子体源和阳极清洗装置。主要结论有:(1)在磁控溅射靶装置设计中,采用磁流体密封替代橡胶轴承密封,提高了靶装置的密封性,极限真空度可达10-6Pa;采用旋转磁钢代替固定磁钢,使靶材的利用率从30%提高到60%,同时避免了靶装置在预先清洗时的污染;设计了靶装置的驱动端,完成了电机、传动装置和轴承的选型。(2)设计等离子体源来改善沉积系统离化率不足的问题。选择0.2mm钨丝...

集成电路自动化装备-探针台是晶圆测试领域研究的热点。由于晶圆片上晶粒很小,达到微米级,所以要求探针台要保持很高的定位精度和运动精度才能保证探针与晶粒的准确对针和测试。因此,本文主要研究的问题是如何保证探针台高精密控制,从而达到微米级定位要求。本文来自于国家02专项-面向12”晶圆片的全自动探针台关键技术研究。首先,本文介绍了探针台两大部分-LOADER和PROBER的关键结构和运动流程；其次,本文重点对预对位、Z轴升降、XY平台三个关键部件的精准控制进行研究,分析影响控制精度...